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“你的意思,我明白了。”
陈泉也听懂了。
利用深硅刻蚀工艺产生的高深宽比,能够显著增加传感面积,提供更高的验证质量,降低弹簧构件的刚度,提高电容的灵敏度,从而提升MEMS传感器的性能。
牺牲层技术,是MEMS概念化的重要推手,深硅刻蚀工艺,才是MEMS商品化的决定性武器。
“但我的竞赛怎么办?”
“什么竞赛?”
林书强和其他人一样,都把头扭过来。
“这是我们之间的一个约定,要尽早拿到CNS论文。在科研工作者这条路上,尽快登顶。”
曲燕秋随口解释了一下。然后重新看向陈泉。“你那里不是还有一个备选方案吗?”
“备选吗?”
陈泉陷入了沉思。
除了传感器,蓝光LED之外,陈泉在记忆里还看到了一些概念性的草图。奇怪的是,这些草图并没有被付诸实施。
“行,可以先用备选方案。”想了良久,陈泉终于点头。
这个备选方案,必须靠自己的真实能力来完成了。
......
“你们居然在CNS上还有备选方案?”
王工只能惊叹了。“像你们这样,如此上进的年轻人,真是不多了。”
经过几轮亲身讨论,他对不到16岁的年轻学生,印象大反转。
不谈年龄,仅仅学生期间,就敢向CNS挑战的,他都没见过几个。这两个年轻人,不但有上进心,而且有实现上进心的能力。
“是啊,是啊。”
主人们纷纷附和。
“那......”
林书强转向了王工。
王工想了一会。MEMS从概念到投产,至少要三年时间,算是个折中。而且产品出来以后,肯定还是自己人先试用。加上西德有类似研究的压力......
“可以,我这边,原则上没有问题。”
这次就是正式的承诺了。“MEMS传感器项目我们会支持的。我们可以分担部分的科研经费。生产就不介入了。”
虽然说,航天系统有自己的芯片厂,但这些芯片厂的任务已经相当饱满。
其次,集成电路和MEMS在工艺上有很大的区别。将一个成熟的IC厂,转型去做MEMS的风险,实在太大了,甚至大到了不可能。
与其转型,不如彻底重建。
“那冰飞方面呢?”
林书强,又看向了孙厂长。
“我回去之后,会立刻把此事向李总和集团公司汇报。你们等我的好消息吧。”
孙厂长十分兴奋。
这次的MEMS项目审查会,不但看到了更多,更有价值的信息,而且有人肯分担风险。
除此之外,还得到了航天市场的包票,甚至国际上的卫星市场,也可以照亮一下。
卫星市场如此,那飞机零部件市场呢?
同样道理,汽车零部件呢?
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