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第31章 极紫外光的困难（第1页）

EUV光刻机，E为Extreme，代表着极紫外光，波长仅为13.5纳米，是目前地球上所知的光源中波长最短的光源。

从名字便可以知道，极紫外光的产生才是整个技术中最为核心的部分，镜头组的设计更至关重要了。

众所周知，镜片工艺，全球最强的就是蔡司、佳能、尼康，这里指的镜片并非是单反相机镜头那种规格，而是直径长达30厘米，打磨精度更高的镜片，光刻机镜头组便是由这些镜片组成。

一枚单反镜头最多可达15片，普通手机能用到3-7块片，而光刻机的镜头组高达30片，可以把它想象成放大10倍的单反镜头，其组装难度难以想象。

目前华国就长春光机所，京城国望光学实力最为领先，是否能生产出这种镜片还未知，但是组装工艺需要从头摸索这是肯定的。

研究小组成员施阅博士，便是来自国望光学，今年45岁，华国光学领域的顶级专家，在充分研究分析后给出的答案是3年内才能实现镜片生产，至于光源，以目前华国的技术，无法实现。

dUV光刻机，d为deep，代表着深紫外光，波长193纳米。

极紫外光需要用深紫外光来击打从空中掉落的20微米液态金属锡，而且需要高频重复，每秒5万次，才能获得极紫外光，这尼玛比高射炮打蚊子还要难百倍。

搞定光源还只是第一步；

紫外光是极易被吸收的，通过击打金属锡产生的光束，还需通过特殊材质做成的镜片反射。

为什么需要反射呢，因为需要对光源进行采集诊断，判断光源是否合格，否则最后生产出来的晶圆损坏，那损失更是天价。（这又涉及到了光学检测了，暂时就不继续深入了，否则跑的人会更多，光刻机的检测比制造更为重要）

EUV光刻机中需要安装5-7块这样的镜片来完成反射，每次反射都会被镜片吸收大约20%的能量，最终获得的极紫外光仅有原来的2%左右能量。

这2%的能量显然是不够的，只能加大光源功率，这又带来两个问题，一是耗能，晶圆厂是耗电大户，核心原因便在这里。

第二个问题就是冷却问题，每次反射镜片都会吸收光能从而发热，光刻机需要降温，配备热效应仿真与实时校准功能，这便需要大量的水。

为了冷却光的高能反应，每秒钟还需要4000升的水，耗能大户可不仅仅是电。

一深入都是问题，只是每次多了解一些路阳就要被打击一次，连带着周怀义一起进入Emo模式，回申城的路上，两人都没过多交谈，各自思索起解决办法。

那些穿越自带十几台光刻机的爽文让路阳非常羡慕，但现实往往更加残酷；

芯片小组最终决定在申城松江工业园区建立华芯科技，从各地调配人才，快速把生产线建立起来，哪怕是套壳最快也需要3个月时间，这项任务被周怀义光荣认领。

回到申城，路阳终于接到了一则好消息，五菱的新能源车五菱mini下周上市，孙忠民亲自打电话邀请出席。

时隔半个多月，再次见到季一楠，脸上失去了以往的自信，皮肤也变得黯淡无光。

“一楠，这才多久没见，怎么变成这样了？”

两人互怼惯了，忽然这么贴心的关怀让季一楠有些发懵。

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